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百级电子洁净车间设计要求
2024/4/3
百级电子洁净车间设计要求相当严格,主要体现在以下几个方面:
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平面布局设计:
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车间布局:应采用垂直流或水平流的空气流动方式,确保空气流动均匀和稳定。车间内的设备和工具应按照生产流程合理布局。
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人员进出:应严格控制,人员需穿戴专业的无尘服和鞋套,并在进入车间前进行洗手和消毒,以防止人员带入外界的颗粒物污染车间。
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空气过滤系统:应使用高效过滤器和HEPA过滤器,以过滤空气中的微小颗粒物质和细菌等有害物质。
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照明系统:应选用无尘灯具,以减少灰尘和微小颗粒物质的产生。
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门窗:应采用无尘门窗,以减少灰尘和微小颗粒物质的进入。
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环境参数要求:
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空气洁净度:要求达到ISO 5级标准,即每立方米空气中的固定颗粒物数量不超过3520个(直径大于0.5微米的颗粒物)。
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温度和湿度:温度一般控制在22摄氏度左右,上下浮动不超过2度;相对湿度保持在55%左右,上下浮动不超过5度。这些参数的控制有助于确保产品质量和工艺稳定性。
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空气流动和过滤系统:
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净化方式:通常在车间的吊顶满布FFU,同时在地面铺设高架地板,形成垂直单向流的净化方式。这种净化方式先通过初效过滤器处理气流中的大颗粒污染物,再经过高效过滤器的二次过滤,去除较小的污染物。
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换气次数与层流风速:换气次数一般要求达到200次/h以上,层流风速应大于0.35m/s,有助于保持车间内的洁净度。