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洁净室中的微振控制
2023/6/26
1.对有微振控制要求洁净厂房设计时应考虑：
1）在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面及顶棚连接处，应按微振控制要求设计。
2）洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动设备及其连接管道，应采取主动隔振措施。
3）应确定洁净厂房内外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。
2.精密设备、精密仪器仪表容许振动值，应由生产工艺与设备制造部门提供。当生产工艺与设备制造部门难以提供容许振动值时，可参照《隔振设计规范》GBJ22执行。
3.精密设备、精密仪器仪表被动隔振设计应具备下列条件：
1）周围振源对其综合影响振动数据。
2）设备、仪器仪表型号、规格及轮廓尺寸图。
3）设备、仪器仪表质量、质心位置及质量惯性柜。
4）设备、仪器仪表底座外轮廓图、附属装置、管道位置及坑、沟、孔洞尺寸、地脚螺栓及预埋件位置等。
5）设备、仪器仪表调平要求。
6）设备、仪器仪表容许振动值。
7）所选用或设计隔振器或隔振装置技术参数、外形尺寸及安装条件。
4.精密设备、精密仪器仪表被动隔振设计应考虑：
1）隔振台座刚度。
2）设备、仪器仪表运行时，由于质量及质心位置变化引起隔振台座倾斜校正措施。
3）隔振系统各向阻尼不应小于0.15.
4）隔振措施不应影响洁净室内气流流型。
5.精密设备、精密仪器仪表被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜空气弹簧隔振装置
6.对供应空气弹簧用气源应进行净化处理。
1）在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面及顶棚连接处，应按微振控制要求设计。
2）洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动设备及其连接管道，应采取主动隔振措施。
3）应确定洁净厂房内外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。
2.精密设备、精密仪器仪表容许振动值，应由生产工艺与设备制造部门提供。当生产工艺与设备制造部门难以提供容许振动值时，可参照《隔振设计规范》GBJ22执行。
3.精密设备、精密仪器仪表被动隔振设计应具备下列条件：
1）周围振源对其综合影响振动数据。
2）设备、仪器仪表型号、规格及轮廓尺寸图。
3）设备、仪器仪表质量、质心位置及质量惯性柜。
4）设备、仪器仪表底座外轮廓图、附属装置、管道位置及坑、沟、孔洞尺寸、地脚螺栓及预埋件位置等。
5）设备、仪器仪表调平要求。
6）设备、仪器仪表容许振动值。
7）所选用或设计隔振器或隔振装置技术参数、外形尺寸及安装条件。
4.精密设备、精密仪器仪表被动隔振设计应考虑：
1）隔振台座刚度。
2）设备、仪器仪表运行时，由于质量及质心位置变化引起隔振台座倾斜校正措施。
3）隔振系统各向阻尼不应小于0.15.
4）隔振措施不应影响洁净室内气流流型。
5.精密设备、精密仪器仪表被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜空气弹簧隔振装置
6.对供应空气弹簧用气源应进行净化处理。
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